镜面扫描平场聚焦加工原理
振动扫描平场聚焦加工方式：平场扫描聚焦镜聚焦光束后，激光焦点在平场扫描聚焦镜焦平面上的移动距离与平场扫描聚焦镜的焦距成正比，与平场扫描聚焦镜入射光束与平场扫描聚焦镜光轴夹角的变化值成正比。一旦选择了平场扫描聚焦镜，平场扫描聚焦镜的焦距就确定了，所以激光焦点在平场扫描聚焦镜焦平面上的移动距离只是理论上与平场扫描聚焦镜和平场扫描聚焦镜的入射光束有关。
振镜扫描平场聚焦超精加工的思考
镜面扫描和平场聚焦的高速超精密加工有两种传统思路。
第一，减小振镜镜头的尺寸，从而减小振镜镜头的摆动惯性。这种思维，因为电流计透镜可以不能承受太大的扩束，因此，为了获得精细的激光扫描光斑，需要配置短焦距、小宽度的平场透镜。它的缺点是扫描宽度大大减小。
第二，振镜的光学镜越轻越好。使用铍透镜时，应注意以下问题：
首先，这种物质有剧毒。只要每立方米空气中有一毫克铍尘，人就会感染急性肺炎3354铍肺病。离子状态的金属元素危害最大，铍离子易被人体吸收，可与血液和淋巴液中的蛋白质结合，影响免疫系统和内分泌系统。氟化铍和氧化铍是导致急性铍中毒的物质。(网上搜索资料)。
其次，许多实际案例表明，铍透镜表面的涂层容易损坏，铍处于激光光路中，因此被激光损坏的概率较高。下图是紫外激光束扩展后用来挡光的黑化铝板。一般十几分钟到半小时就会出现一个白点。可以想象，虽然铍的熔点比较高，但是铍在紫外激光的照射下蒸发的概率几乎是100%，所以把铍放在激光光路中肯定是不明智的。
在另一种情况下，激光用于扫描玻璃表面一次，可以通过3D显微镜进行扫描。人们发现这种玻璃是咀嚼几百纳米的深度。
可见物质在激光照射下辐射蒸发的概率是绝对的。激光等离子体光谱学也是基于这个原理。
与铍铝合金相似
在周期表中，IIIA族的铍和铝位于对角线上，它们的性质非常相似。
1.标准电极具有相似的电势：它们都是活性金属。
2.都是爱氧元素，金属表面容易形成氧化物保护膜，可以用浓硝酸钝化。
3.两者都是两性金属。氢氧化物也是两性的。
4.氧化物BeO和Al2O3具有高熔点和高硬度。
5.BeCl2和AlCl3是缺电子的共价化合物，通过桥键形成聚合物分子。
6.铍盐和铝盐易水解，水解呈酸性。
7.Be2C和Al4C3一样，水解时会产生甲烷。虽然Be和Al有许多相似的化学性质，但它们在人体内的生理功能却大相径庭。人体可以装适量的铝，但不能装一点铍。吸入少量的BeO会致命。
铍振镜镜头目前使用情况如何？
铍是一种轻质材料，可以提供高热导率和低硬度，加工难度低于碳化硅。然而，这种材料也有缺点。首先，这种物质有剧毒。为了避免皮肤和铍接触，整个表面被镍覆盖。由于铍的晶粒尺寸太大，无法在630nm处抛光到小于/4的平面度，所以镍可以用来抛光和镀膜。
铍振镜的隐忧
铍振镜透镜表面镀有一层
目前使用铍镜片的振镜厂商主要是美国振镜厂商，而德国振镜厂商目前没有看到铍镜片的推出，而是推出超难加工的碳化硅镜片，牺牲速度和成本，注重环保。同样的振镜技术，与标准的碳化硅反射镜相比，铍透镜的最终速度可以提高30%，时间可以节省20%。
建议
强烈建议有关部门建立工业领域危险元素应用的监管机制，不要因为工业发展而损害同胞健康，尤其是相应领域的专业人士要有明确的负责人和环保责任。建议业内同仁自觉抵制铍镜片的使用。环境污染面前人人平等，谁都逃不掉。
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